| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR THE COMPENSATION OF EDGE RING WEAR IN A PLASMA PROCESSING CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL167491(A) |
申请公布日期 |
2009.08.03 |
| 申请号 |
IL20050167491 |
申请日期 |
2005.03.16 |
| 申请人 |
LAM RESEARCH CORPORATION;ROBERT J. STEGER |
发明人 |
ROBERT J. STEGER |
| 分类号 |
H05H1/46;C23C16/50;H01J37/32;H01L21/3065 |
主分类号 |
H05H1/46 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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