鳍式接面场效电晶体

摘要

本发明提供一种整合鳍式接面场效电晶体(Fin-JFET)与鳍式金氧半导体场效电晶体(Fin-MOSFET)之方法、装置及系统。一方法实施例包括在一基板上形成至少一个鳍式MOSFET及在该基板上形成至少一个鳍式JFET。