摘要 |
揭露一种液晶涂布装置。液晶涂布装置滴落液晶于基板以形成液晶层。至少一喷嘴相对于堆叠基板移动。液晶供应单元提供液晶到喷嘴,以容许喷嘴滴落液晶到基板。缺陷侦测感测器置于喷嘴之下部,且当喷嘴移动且滴落液晶到基板时,侦测是否有滴落液晶的缺陷,其中液晶由液晶供应单元所供应。修复感测器移动到缺陷侦测感测器侦测到有液晶滴落缺陷之位置,决定缺陷是否涉及液晶的滴落,以及计算所需液晶量。控制单元控制液晶供应单元,以自喷嘴滴落与修复感测器所计算之液晶短缺量相当的液晶。因此,可将从侦测滴落液晶的缺陷到修复的所有程序自动化。 |