极性聚二甲基矽氧烷模具、制造该等模具之方法及使用该等模具以转印图案之方法

摘要

本发明提供一种方法，其包括(I)制造经固化聚矽氧产品及(II)在图案化技术中使用该经固化聚矽氧产品之步骤。该经固化聚矽氧产品为(A)聚矽氧固化组套与(B)具有聚氧化烯官能基及反应性官能基之极性添加剂的反应产物。该方法适用于软微影应用中。