使用举离步骤来产生模板的方法

摘要

一种形成一微影模板之方法，其中该方法包括藉由在一本体上形成一导电层，并于该导电层上形成一具有多数突出部分及凹部的图案层，因而产生一多层结构，且该等凹部使导电层之多数部分露出；于多层结构上以非等向性方式沈积一硬式光罩材料，覆盖图案层的一顶面及该导电层之该等部分；利用一举离步骤移除图案层，而硬式光罩材料留在该导电层之该等部分上；于多层结构上配置一阻剂图案以界定出多层结构的一区域；以及以硬式光罩材料作为一蚀刻光罩，而选择性地移除多层结构与该区域重叠之多数部分。