玻璃陶瓷及玻璃陶瓷复合半导体制造物体枝撑装置

摘要

本发明说明的是物件支撑或处理材料,配置成支撑放在光刻装置辐射束路径中的物件。这种物件支撑或扶手材料包含一种玻璃陶瓷材料,显示大于1.5 MPa/m#sP!1/2#eP!的破裂韧性,小于1.0x10#sP!-6#eP!/K的热膨胀系数,大于约3.5 W/(m．K)的热导性,大于120 GPa的弹性模数,超过40 GPa　g/㎝#sP!3#eP!的高弹性对密度比,和≦0.25的热稳定系数。在特定实施例中,这种玻璃陶瓷材料是堇青石玻璃陶瓷材料。