缺陷检测方法及缺陷检测装置

摘要

在缺陷检测装置中，利用摄影部取得基板之被检查影像，对被检查影像使用边缘抽出过滤进行2进制化，藉以用来抽出边缘。然后，根据从被检查影像除去边缘之边缘除去完成影像之浓度直方图，使被检查影像2进制化，并求得用以产生检查用之处理完成影像之检查用临限值。在浓度直方图，经由除去边缘而用来使与布线图案对应之浓度分布、和与基板本体对应之浓度分布之间之浓度带之图素之频度成为0，用来使2个之浓度分布明确地隔离。因此，经由使与基板本体对应之浓度分布之最大浓度成为检查用临限值，可以以高精确度求得检查用临限值。