发明名称 一种线圈电感之形成方法
摘要 一种线圈电感之形成方法,包含下列步骤:形成复数个底部导电结构于一第一介电层上;接着形成复数对侧部导电结构,其中每对侧部导电结构系分别直立形成于每一底部导电结构之一第一端点及一第二端点上;形成一第二介电层于该第一介电层上,该第二介电层系覆盖该等底部导电结构及侧部导电结构;以及形成复数个顶部导电结构于该第二介电层上,其中每一顶部导电结构系电性连接于每一对侧部导电结构;该等底部导电结构、侧部导电结构及顶部导电结构共同形成该线圈电感结构。
申请公布号 TW200933666 申请公布日期 2009.08.01
申请号 TW097108910 申请日期 2008.03.13
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 恺明;陈承先
分类号 H01F41/14(2006.01);H01F27/245(2006.01) 主分类号 H01F41/14(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区力行六路8号