| 摘要 |
一种利用浸渍螫合掺杂技术制备透明导电氧化锌薄膜之方法，主要是于主金属盐类的溶胶系统中加入具有官能基的聚合体或共聚合体，利用聚合体分子的存在，增大晶粒的距离，使晶粒不因氢键而团聚，并经由湿式涂布成膜法及热处理程序，将主金属盐类的溶胶液先制成主金属前驱薄膜，然后配制含有掺杂元素的溶液，再将主金属前驱薄膜浸入掺杂元素的溶液中，进行浸渍螯合反应。此措施的目的，在于使存在于主金属前驱薄膜中的聚合体分子官能基，可以经由螯合反应捕捉溶液中的掺杂物离子而进行薄膜的掺杂。而此措施之优点，可以使掺杂物离子均匀的分布于前驱薄膜中，因而避免掺离子的团聚现象。改善晶粒的团聚，可以降低薄膜的孔隙度和增加薄膜质地的致密性，其薄膜的导电度也因而获得提升。 |
