太阳电池之磊晶层剥离方法及装置

摘要

本发明揭示一种太阳电池之磊晶层剥离方法及装置。将太阳电池基板上之磊晶层以蚀刻方式剥离(lift-off)。将已磊晶之太阳电池用蜡黏在剥离基板上，于太阳电池之磊晶层上涂敷一层贴合层，以滚筒紧贴磊晶层上之贴合层。然后以蚀刻液自太阳电池基板与磊晶层之交界喷下，使磊晶层自基板上剥离。配合蚀刻之速度卷动滚筒，将剥离之磊晶层收卷于滚筒上，供制作单晶薄膜太阳电池之需。蚀刻液则流入储存槽而循环利用。基板亦可循环利用。