阵列测试器之调变器

摘要

揭露一种阵列测试器之调变器。调变器包含调变器本体，以可提升方式耦接于固定块之下表面，且包含在其本身与基板之电极间产生电场之调变器电极单元，以及改变预定性质之性质改变单元；复数个多孔性单元，至少其一是设置于调变器本体之各侧，且包含多孔性材料单元，其各于基板之方向透过复数个细孔排出真空压力；以及至少一或更多负压供应管，穿过多孔性材料单元之至少其一，并于基板之方向透过穿管之一端排出预定负压。