| 摘要 |
本发明提供一种产业用机器人，即便在以机械的构成来把持搬送对象物之情况下亦可实现小型化。本发明之机器人1具备：机械手3、4；以及包含保持该机械手3、4之机械手保持臂7的多关节机械臂部5。机械手3、4具备：抵接于晶圆2并把持晶圆2之把持部42、52；以及朝向把持晶圆2之方向对把持部42、52施力之施力构件，机械手保持臂7具备凸轮构件，其随着多关节机械臂部5之伸缩动作而相对于机械手3、4进行相对旋动。在凸轮构件之内周侧，以如下方式形成有把持部42、52所抵接之凸轮面：在将晶圆2从收纳部搬出之前，使把持部42、52从晶圆2退避，同时，随着将晶圆2从收纳部搬出时的多关节机械臂部5之伸缩动作，使把持部42、52朝向把持晶圆2之方向移动。 |
