显影装置

摘要

本发明之显影装置，具备有：旋转夹盘，可旋转地保持基板；显影液喷嘴，有排成一列之吐出显影液之多个吐出口形成，使从各吐出口吐出的显影液在互相分离之状态下附着于基板；水平移动机构，将吐出口之排列方向保持在俯视下朝向基板之中心的一方向，并使显影液喷嘴在该一方向移动，藉此使显影液喷嘴于俯视下在基板之大致中心和周缘进行移动；和控制部，用来控制旋转夹盘和水平移动机构，从吐出口使显影液分别以螺旋状附着在基板上，而对基板进行显影。