制造装置、资讯处理方法及记忆媒体

摘要

本发明系提供一种可容易地管理制造装置之各功能的执行之可否之制造装置。本发明系进行对于被处理基板之半导体制程之制造装置30，其具备：授权金钥受理部31，其系受理对应于表示制造装置30之使用的可否之装置可否资讯及表示各功能之执行的可否之功能可否资讯之授权金钥；功能认证部33，其系利用对应于受理之授权金钥之装置可否资讯及功能可否资讯，来判断制造装置30之各功能执行之可否；执行部34，其系执行各功能之处理；执行指示受理部35，其系受理指示藉由执行部34各功能的执行之执行指示；及执行控制部36，其系因应藉由功能认证部33所做出之可否判断来控制，以便不执行判断为不许可藉由执行部34执行之功能。