用于蚀刻玻璃晶圆之器械，及使用此器械制造之玻璃薄板

摘要

一用于蚀刻玻璃基板以减少玻璃基板厚度的器械，及因此而制造出来的玻璃薄板。该器械包括一固定单元，该固定单元被提供在一或更多玻璃基板下面相对于地面以一预定倾斜度可分开地固定并支撑该玻璃基板；及提供一喷溅单元在该玻璃基板上面以喷溅蚀刻剂到该玻璃基板上。该喷溅单元包括一或多个管嘴头及用于喷溅蚀刻剂的一或多个管嘴。管嘴的一终端尖端间隔该玻璃基板一预定距离，该预定距离由管嘴间的间距与管嘴的蚀刻剂喷溅角度决定。