具有散热结构之晶圆及其制作方法

摘要

一种具有散热结构之晶圆，其包括一晶圆以及多个金属散热件。晶圆具有一主动面以及与其相对之一背面。其中，晶圆之背面具有多个盲孔。多个金属散热件分别嵌入于上述盲孔中，且这些金属散热件系凸出于晶圆之背面。