| 摘要 |
本发明揭示一种振动换能器，其系由以下构成：一基板，具有一导电性质的一振动膜、具有一导电性质的一板以及具有柱子形状的复数个第一隔片，其系使用接合该板并具有一绝缘性质之一沈积膜形成以便其相对于该振动膜支撑该板并在其间具有一间隙。可以引进采用该板与该基板之间的一间隙相对于该基板支撑该板且具有柱子形状之复数个第二隔片及/或采用该振动膜与该基板之间的一间隙相对于该基板支撑该振动膜且具有柱子形状之复数个第三隔片。当该振动膜相对于该板振动时，改变形成于其间之一静电电容以便以一高敏感性来侦测振动。该振动膜具有复数个臂状物，其外形经弯曲以使得其中间区域在宽度上减小。 |
