| 摘要 |
本发明之目的系于提供一种研磨垫之制造方法，该研磨垫可防止来自研磨区与透光区之间研磨浆之漏出，具有优异的光学检测精度。本发明系有关于一种研磨垫之制造方法，包含有以下步骤，即：藉机械发泡法，调制气泡分散型胺基甲酸乙酯组成物；一边送出面材，或一边移动输送带，一边在该面材上或输送带上之预定位置配置透光区；朝未配置前述透光区之前述面材或输送带上，连续吐出前述气泡分散型胺基甲酸乙酯组成物；在所吐出之前述气泡分散型胺基甲酸乙酯组成物上堆叠另一面材或输送带；一边调整厚度使其均匀，一边使前述气泡分散型胺基甲酸乙酯组成物固化，形成由聚胺酯发泡体构成之研磨区，制作研磨薄片；在前述研磨薄片之一面涂布含有脂肪族/或脂环族聚异氰酸酯之聚胺酯树脂涂料，使其固化，形成不透水性膜；及，裁断前述研磨垫。 |
