臭氧水混合供应装置与方法以及使用该装置的基底处理设施

摘要

一种臭氧水混合物供应装置与方法，以及一种从此装置接收臭氧水混合物来处理基底的基底处理设施。臭氧水混合物供应装置包括混合线路和分配线路。混合线路分别从处理液供应线路和臭氧水供应线路接收处理液和臭氧水，并混合处理液和臭氧水以产生满足预设浓度的臭氧水混合物。每一分配线路将从混合线路产生的臭氧水混合物分配至制程单元内。混合线路包括混合阀和静态混合器。因此，在不需要混合容器（诸如混合槽）情况下使用线路内混合方法产生并供应具有预设浓度的臭氧水混合物。