摘要 |
本发明提供一种系统及方法,与先前相比,可大幅提高光阻液的回收效率,可降低回收成本并且提高光阻液的再利用率。光阻液供给回收系统,其具备:旋转涂布机250等光阻液涂布装置;规定容量之供给兼回收容器也就是专用容器1,其兼用于向光阻液涂布装置供给光阻液之目的、以及自光阻液涂布装置回收已用过的光阻液之目的;供给配管,其在供给光阻液时使用,可与专用容器1以气密状态连接;以及回收配管253,其在回收已用过的光阻液时使用,可与专用容器1以气密状态连接。藉此,可省去使用者方面进行回收或再利用之设备负担,从而可大幅削减回收费用与劳力。 |