铜膜形成方法及多层布线基板之制造方法

摘要

一种铜膜形成方法包括下列步骤：喷洒一包括一甲酸铜及一在特定温度下蒸发之溶剂的甲酸铜溶液于该基板之一表面上；以及喷洒一包括一用以还原在该基板之该表面上之氧化铜或未分解之甲酸铜的还原剂之还原剂溶液至该基板之该表面。该等喷洒步骤系在加热该基板至该特定温度的同时实施，以及该基板系放置在一惰性气体中，该惰性气体在该特定温度下系不活泼的。