检测和修正光罩图案的方法

摘要

本发明提供一种检测和修正光罩图案之方法，包含有：输入一光罩图案，其中该光罩图案系由至少一线段所构成；输入一制程规则；选取该线段中符合一定位模式的一边线作为一目标边线，其中该目标边线的两端点分别为一前检查点和一后检查点，且该前检查点和该后检查点各包含有至少一检测方向；沿着该等检查方向于该光罩图案中识别出一相对边线；进行一制程规则检测，提供一修正值；提供一第一偏差值以对该目标边线进行一第一修正；以及提供一第二偏差值以对该相对边线进行一第二修正，其中该第一偏差值和该第二偏差值的总和等于该修正值。