微晶矽薄膜电晶体结构及其制造方法

摘要

本发明提供一种上闸极式微晶矽薄膜电晶体及其制造方法，其反转通道系形成于其微晶矽主动层上方介面，而与该微晶矽主动层下方介面的孕核层分开。本发明之该反转通道形成在该微晶矽主动层上方介面结晶性薄膜中，因而使本发明微晶矽薄膜电晶体具有较好的电性及可靠度。