空间相形貌位置

摘要

本发明系揭露于一基板上定位对准标记之方法。一般来说，基板包括一或多个邻近基板对准标记的定位标记。定位标记提供基板对准标记之相对定位，使得基板对准标记可用于微影系统中，以减少的相对位移量，使基板与样板对准。