| 摘要 |
为了提供一种能高精度地切断加工对象物之加工对象物切断方法。藉由以聚光点对准加工对象物（1）的方式照射雷射光，以沿着在从加工对象物（1）的外缘（E）起算既定的距离内侧且顺沿外缘而设定之改质区域形成线（15），来在加工对象物（1）形成改质区域，并沿着切断预定线（5）在加工对象物（1）形成切断用改质区域，而以切断用改质区域为起点沿着切断预定线（5）将加工对象物（1）切断。如此般，沿着设定在从加工对象物（1）的外缘（E）起算既定的距离内侧之改质区域形成线（15），来在加工对象物（1）形成改质区域，即使在将加工对象物（1）切断时对加工对象物（1）施加切断应力，利用所形成的改质区域或从改质区域延伸的龟裂，可抑制在加工对象物（1）的外缘部（25）产生的龟裂朝内侧的伸展。 |
