放置基板之方法、传送基板之方法、支撑系统及微影投影装置

摘要

本发明系关于一种将一基板放置至一基板固持器之一表面上的方法，其中该表面具备复数个瘤节。在该方法中，首先，计算用于使能够相对于该基板固持器之该表面上之该复数个瘤节之一位置而将该基板放置于一某一位置处的基板放置资料。接着，根据该基板放置资料而将该基板放置于该某一位置处。该某一位置可基于放置将导致一最小化覆盖误差之位置，或可基于放置将导致最小化基板变形之位置。