发明名称 网体涂覆制程中用于网体之气垫传送
摘要 本发明是关于网体引导,尤其是关于网体引导。本发明提供一种用于以不接触方式来引导一网体的引导装置,该引导装置具有:一表面,用于面对该网体;以及多个气体出口,设置在该表面中且适于提供一用于该网体的气垫,再者,本发明提供一种用于涂覆一网体的设备以及一种用于以不接触方式来引导一网体之方法,该方法包含:在一表面上方移动该网体;以及从该表面放射多个气体流,藉此在该表面与该网体之间产生一气垫。又,本发明提供一种用于制造一薄膜太阳能电池之方法,该方法包含根据本文所描述实施例之以不接触方式来引导一网体之方法。用于制造一薄膜太阳能电池之方法更包含:在该网体上沉积一背接触体;以及沉积一透明导电氧化物层。
申请公布号 TW200933788 申请公布日期 2009.08.01
申请号 TW097140352 申请日期 2008.10.21
申请人 应用材料股份有限公司 发明人 布西别克沃根
分类号 H01L21/67(2006.01);H01L31/18(2006.01) 主分类号 H01L21/67(2006.01)
代理机构 代理人 蔡坤财;李世章
主权项
地址 美国
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