发明名称 Method for manufacturing storage node contact in semiconductor device
摘要
申请公布号 KR100910221(B1) 申请公布日期 2009.07.31
申请号 KR20020084371 申请日期 2002.12.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址