发明名称 |
Elektronischer Schaltkreis zur Verwendung in einem räumlichen Lichtmodulator und photolithographisches Verfahren mit dessen Anwendung |
摘要 |
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申请公布号 |
DE602004021556(D1) |
申请公布日期 |
2009.07.30 |
申请号 |
DE200460021556T |
申请日期 |
2004.10.21 |
申请人 |
AVAGO TECHNOLOGIES FIBER IP (SINGAPORE) PTE. LTD. |
发明人 |
SCHROEDER, DALE W. |
分类号 |
G02F1/01;G09G3/34;G02F1/1345;G03F7/20;G09G3/36;H01L21/027 |
主分类号 |
G02F1/01 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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