发明名称 Elektronischer Schaltkreis zur Verwendung in einem räumlichen Lichtmodulator und photolithographisches Verfahren mit dessen Anwendung
摘要
申请公布号 DE602004021556(D1) 申请公布日期 2009.07.30
申请号 DE200460021556T 申请日期 2004.10.21
申请人 AVAGO TECHNOLOGIES FIBER IP (SINGAPORE) PTE. LTD. 发明人 SCHROEDER, DALE W.
分类号 G02F1/01;G09G3/34;G02F1/1345;G03F7/20;G09G3/36;H01L21/027 主分类号 G02F1/01
代理机构 代理人
主权项
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