发明名称 OBERFLÄCHENPRÜFUNG UNTER VERWENDUNG EINER NICHT VIBRIERENDEN KONTAKTPOTENZIALSONDE
摘要
申请公布号 DE602004021637(D1) 申请公布日期 2009.07.30
申请号 DE200460021637T 申请日期 2004.08.05
申请人 QCEPT TECHNOLOGIES INC. 发明人 STEELE, BRANDON M.;HAWTHORNE, JEFFREY ALAN;KIM, CHUNHO;SOWELL, DAVID C.
分类号 G01N27/00;G01N33/00;G12B21/02;H01L21/66 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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