发明名称 Mikromechanischer Drucksensor
摘要 Die Erfindung betrifft einen mikromechanischen Drucksensor mit einem Substrat und einer Membran, an der sich piezoelektrische Sensorelemente befinden. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Drucksensor zu schaffen, der geringe Abmessungen aufweist und bei dem Torsionsbeanspruchungen der Membran weitgehend vermieden werden. Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit einer Anordnung gelöst, bei der das Substrat einen Rahmen (1) aufweist, an dem die Membran (2) angeordnet ist, wobei sich an der Unterseite der Membran (2) ein zentral angeordnetes Masseelement (3) befindet und die Membran (2) an streifenförmigen Abschnitten, die sich zwischen Rahmen (1) und Masseelement (3) befinden, mit jeweils zwei partiellen Verstärkungen (2.1, 2.2) versehen ist.
申请公布号 DE102008003716(A1) 申请公布日期 2009.07.30
申请号 DE200810003716 申请日期 2008.01.09
申请人 CIS INSTITUT FUER MIKROSENSORIK GMBH 发明人 BROKMANN, GEERT
分类号 G01L9/06;G01L7/08 主分类号 G01L9/06
代理机构 代理人
主权项
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