用于测量位移的干涉仪系统以及采用该干涉仪系统的曝光系统

摘要

用于测量位移的干涉仪系统包括位移干涉仪。该干涉仪包括响应测量光束的位移变换器。配置该位移变换器，以将其在垂直于测量光束的方向上的移动变换为位移变换器的反射面与测量光束之间的光程长度的变化。位移变换器可以包括透射光栅和位移反射镜或者反射光栅。

主权项

1. 一种位移干涉仪，包括：位移变换器，响应测量光束，而且配置其，以将其在垂直于测量光束的方向上的运动变换为所述位移变换器的反射面与测量光束之间的光程长度的变化，其中所述位移变换器包括：透射光栅，具有设置在测量光束的光路上的正面；以及位移反射镜，对着所述透射光栅的背面。