减少测量点数的平面度评定方法

摘要

本发明涉及一种减少测量点数的平面度评定方法，具体步骤是：按照现有的平面度测量方法，测量平面上若干个点位置上的平面误差值；根据这些有限的测量点值，通过最大熵方法，估计被测平面误差的概率分布；根据所估计的概率分布，在被测平面的其它位置上，产生测量点间平面误差的估计值，即对测量点进行插值；利用最小包容区域法、最小二乘法或对角线法的平面度误差评定方法，由平面度误差的测量值与插值位置平面误差的估计值，评定平面度误差；根据概率与统计理论和插值位置上多次估计值，分别计算平面度误差，并取这些计算结果的平均值作为最终的平面度误差评定值。本发明以最大熵方法为基础，利用有限的测量数据样本，确定被测平面误差的概率分布。

主权项

1.一种减少测量点数的平面度评定方法，其特征在于，具体步骤是：(1)按照现有的平面度测量方法，测量平面上若干个点位置上的平面误差值；(2)根据这些有限的测量点值，通过最大熵方法，估计被测平面误差的概率分布；(3)根据所估计的概率分布，在被测平面的其它位置上，产生测量点间平面误差的估计值，即对测量点进行插值；(4)利用最小包容区域法、最小二乘法或对角线法的平面度误差评定方法，由平面度误差的测量值与插值位置平面误差的估计值，评定平面度误差；(5)根据概率与统计理论和插值位置上多次估计值，分别计算平面度误差，并取这些计算结果的平均值作为最终的平面度误差评定值。