用于从固体源递送试剂的系统

摘要

一种用于从其固体源递送试剂的系统(10)，包括：一结构(16、22、24)，被设置成通过所述结构的至少一部分将固体源材料(30)保持封闭，用于加热固体源材料并通过蒸发固体源材料从固体源材料中产生蒸气；热源(82)，被设置成加热固体源材料，以实现所述蒸发；以及蒸气分配组件(52、54)，被设置成从所述系统中排出蒸气。还描述了高传导性阀(1510)，其适于用作用于试剂存储的分配控制阀以及分配容器，例如，容纳以低压分配的半导体制造试剂的容器。该高传导性阀包括阀体(1512)，其中，进口和出口通道彼此基本垂直，它们的内部末端于阀室(1536)连通，该阀室包含有可选择性定位的阀元件，该阀元件可在完全打开位置与完全闭合位置之间移动。通过这种高传导性阀可以获得大约2.7至2.9的阀流量系数(Cv)值，这使得即使在极低压力的情况下(如20托以下)，该阀也可获得优异的分配操作。

主权项

1.一种用于递送来自其固体源的试剂的系统，包括：一结构，被布置成通过所述结构的至少一部分将固体源材料保持封闭，用于加热所述固体源材料并通过所述固体源材料的汽化而从所述固体源材料产生蒸气；热源，被布置成加热所述固体源材料以用于所述蒸发；以及蒸气分配组件，被布置成从所述系统中排放所述蒸气。