光学积分器、照明光学装置、曝光装置、方法及元件制法

摘要

本发明涉及一种具有下述特性的光学积分器，即，将一对光学构件的相对位置决定误差对照明度分布或照明范围的形状的影响抑制为较小。本发明的光学积分器是自光入射侧依次具备第1光学构件(8a)及第2光学构件(8b)的波阵面分裂型光学积分器(8)。第1光学构件具备在第1方向(Z方向)上具有折射力、且在第2方向(X方向)上无折射力的多个第1入射面(8aa)，以及在第1方向上具有折射力、且在第2方向上无折射力的多个第1出射面(8ab)。第2光学构件具备在第2方向上具有折射力、且在1方向上无折射力的多个第2入射面(8ba)，以及在第2方向上具有折射力、且在第1方向上无折射力的多个第2出射面(8bb)。

主权项

1. 一种光学积分器，是自光入射侧依次具备第1光学构件及第2光学构件的波阵面分裂型光学积分器，其特征在于，所述第1光学构件具备：多个第1入射面，其在与光轴正交的平面内的第1方向上具有预定的折射力，且在与所述光轴正交的平面内、在与所述第1方向正交的第2方向上无折射力；以及多个第1出射面，其以与该多个第1入射面相对应的方式而形成，在所述第1方向上具有预定的折射力，且在所述第2方向上无折射力，并且所述第2光学构件具备：多个第2入射面，其形成为与所述多个第1入射面相对应，在所述第2方向上具有预定的折射力，且在所述第1方向上无折射力；以及多个第2出射面，其形成为与所述多个第1入射面相对应，在所述第2方向上具有预定的折射力，且在所述第1方向上无折射力，所述多个第1入射面沿着所述第1方向而并列配置着，所述多个第2入射面沿着所述第2方向而并列配置着，所述多个第1入射面的排列间距较所述多个第2入射面的排列间距还小。