基于MEMS技术微型动态压力传感器及其制造方法

摘要

一种基于MEMS技术微型动态压力传感器及其制造方法，压力传感器由硅敏感元件和作为传感器壳体的不锈钢管组成，硅敏感元件受压面设有惠斯通电桥结构而内部设有真空压力参考腔，硅敏感元件背压面通过陶瓷棒固定于不锈钢管内，硅敏感元件受压面与传感器壳体上引压口的内边缘齐平封装，惠斯通电桥结构上应变电阻通过金丝内引线连接到绝缘棒上外引线，硅敏感元件背压面固定于陶瓷棒端面，陶瓷棒上设有多条便于固定金丝内引线与外引线的花键槽，金丝内引线与外引线在花键槽中连接，本发明具有良好动态特性和微型化，可广泛应用于空气动力学、爆破力学、智能建筑、水利电力设计、石油化工等流体力学测试领域。

主权项

1、一种基于MEMS技术微型动态压力传感器，其特征在于，由硅敏感元件(2)和传感器壳体(6)组成，该硅敏感元件(2)受压面设有惠斯通电桥结构而内部设有真空压力参考腔(22)，该硅敏感元件背压面通过绝缘棒(5)固定于该传感器壳体内，且该硅敏感元件受压面与该传感器壳体上引压口的内边缘齐平封装，该惠斯通电桥结构上应变电阻(21)通过金丝内引线(3)连接到该绝缘棒上外引线(7)，实现信号传输。