无机酸气体的处理方法与装置

摘要

本发明是关于一种无机酸气体的处理方法与装置，其方法步骤包括：(a)将无机酸气体与一雾化碱液形成一混合物，其中雾化碱液可连续性或间歇性产生；(b)将混合物通过一具有吸附剂的床体，其中吸附剂可经水清洗、碱液喷洒或浸泡处理；以及(c)排出处理过的气体；本发明的再生性除酸系统可同时设置多组无机酸气体的再生性处理装置，所以每组吸附剂床可直接线上再生，而减少吸附剂吸附耗竭更换的成本、制程作业时间与设备占用空间；本发明对无机酸气体处理进行测试，诸如氢氯酸气体可达到良好的去除效果，长时间操作亦可维持系统的稳定性。

主权项

1. 一种无机酸气体的再生性除酸装置，其特征在于，装置包括：一具有一进气口与一出气口的槽体；至少一吸附剂床体，是位于该槽体内并含有至少一吸附剂；至少一碱液供应单元，是位于该槽体内并提供一碱液于该至少一吸附剂床体；以及至少一清洗液提供单元，是位于该槽体内并提供清洗该至少一吸附剂用的液体；其中，该至少一碱液供应单元是位于该至少一吸附剂床体与该进气口之间。