带空气隔离阀的电离真空计装置

摘要

一种带空气隔离阀的电离真空计装置，属于气压测量技术领域。电离真空计装置用于测量气腔室的真空状态气压，所述电离真空计装置包括电离真空计、空气隔离阀以及连接所述空气隔离阀与电离真空计的第一气管。空气隔离阀的关闭能使电离真空计与气腔室隔离，从而能防止电离真空计不受非真空状态的被测气腔室中的制程气体污染，提高电离真空计的使用寿命。本实用新型提供的电离真空计装置具有使用寿命长度特点。

主权项

1. 一种带空气隔离阀的电离真空计装置，用于测量气腔室的真空状态气压，其特征在于：所述电离真空计装置包括电离真空计、空气隔离阀以及连接所述空气隔离阀与电离真空计的第一气管，所述空气隔离阀置于电离真空计与所述气腔室之间，所述空气隔离阀在气腔室非真空状态时处于关闭状态。