| 发明名称 | 音片型振子以及使用了该音片型振子的振动陀螺仪 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种小型的、能够小尺寸化的、能够作为检测灵敏度良好的振动陀螺仪来使用的音片型振子，和使用了该音片型振子的振动陀螺仪。在基板(12)上所形成的音片型振子(10)包括振动体(14)。振动体(14)在整体上形成为蜿蜒状，部的振动片作为第一检测部(62)来使用。在振动体(14)的一侧形成驱动电极(16、18)，连接到引出电极(26、28)。第一检测部(62)的一个主面上形成检测电极(20)和公共电极(22)。振动体(14)的另一个主面上形成公共电极(22)，通过通孔(24)连接到一个主面上的公共电极(22)。检测电极(20)和公共电极(22)连接到引出电极(30、32)。 | ||
| 申请公布号 | CN101495836A | 申请公布日期 | 2009.07.29 |
| 申请号 | CN200780027770.3 | 申请日期 | 2007.04.09 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 藤本克己;小池雅人 |
| 分类号 | G01C19/56(2006.01)I;G01P9/04(2006.01)I;H01L41/08(2006.01)I;H01L41/18(2006.01)I | 主分类号 | G01C19/56(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1、一种音片型振子，包括：具有一个主面以及另一个主面的蜿蜒形状的振动体；形成为从所述振动体的一个主面的纵长方向一端侧向中央部延伸，并且在所述振动体的宽度方向上分割而成的两个驱动电极；检测电极，形成为从所述振动体的一个主面的纵长方向另一端侧向中央部延伸；金属膜，形成在所述振动体的另一个主面上；和支撑部，形成在成为所述振动体弯曲振动时的节点的部分，用于中空地支撑所述振动体。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||