气量计

摘要

本发明提供一种结构简单的气量计，所述气量计能够保护流量传感器远离尘埃，同时能够在不导致压力损失问题的情况下，高精度、可靠地检测从气体泄漏等微小流量至气体通常使用状态的大流量。设置有将主流路的流路截面平行划分而成的第1、第2和第3流路，这些流路根据流量使被测气体分流流通，在流路截面积小的第1流路中设置流量测量用流量传感器，同时在流路截面积小的第2流路中设置气体泄漏检测用的流量传感器，在上述第1和第2流路的一端侧或两端设置整流用滤膜，同时在第1流路的一端侧或两端侧设置除异物(尘埃)滤膜。

主权项

1.一种气量计，其特征在于，具有：将流通被测气体的主流路的流路截面沿着流路方向平行划分而并列设置、对应于气体流量使所述被测气体分流流通的第1、第2和第3流路；设置在所述第1流路的流量测量用的流量传感器、和设置在所述第2流路的泄漏流量测量用流量传感器；分别设置在所述第1和第2流路的一端侧或它们的两端的整流用滤膜；设置在所述第1流路的一端侧或两端侧、捕捉混入所述被测气体的异物、阻止异物流入所述第1流路的除异物滤膜。