用于过程监控的光学测量探针

摘要

本发明涉及一种用于过程监控的光学测量探针，具有设置在工艺装置部位里面的具有一个光进入孔的远端和一个耦联到评价装置上的近端，其中在测量探针的远端与近端之间设置一个杆，它在两个端部之间包括一个光导连接。该测量探针的特征是，使测量探针在其远端部位具有比杆和/或近端更小的外径。

主权项

1.一种用于过程监控的光学测量探针(10)具有a)一个设置在工艺装置部位里面的具有一个光进入孔(12)的远端(11)，b)一个耦联到评价装置上的近端(13)，其中c)在测量探针的远端与近端之间设置一个杆(14)，它在两个端部之间包括一个光导连接，其特征在于，d)该测量探针在其远端部位(11)具有比杆(14)和/或近端(13)更小的外径。