一种可连续大面积均匀化学气相沉积的喷头系统

摘要

本发明公开一种可连续大面积均匀化学气相沉积的喷头系统，包括输送管路、固定面板、安装在固定面板上部的一次反应气体混合腔体、安装在固定面板下部的喷管，喷管具有喷气口，在固定面板的上部还安装了循环水冷却系统，在固定面板的下部还安装了二次反应气体混合腔体，喷管罩在二次反应气体混合腔体中，二次反应气体混合腔体的横截面呈“V”字型，二次反应气体混合腔体的底部开有单缝隙喷嘴，原料气体经由输送管路进入一次反应气体混合腔体，再进入喷管中，然后从喷管的喷气口喷出后进入二次反应气体混合腔体，最后由单缝隙喷嘴喷出。此系统可以降低沉积温度，使大面积沉积时薄膜的均匀性容易控制，以保证连续大规模生产的正常进行。

主权项

1、一种可连续大面积均匀化学气相沉积的喷头系统，包括输送管路、固定面板、安装在固定面板上部的一次反应气体混合腔体、安装在固定面板下部的喷管，喷管具有喷气口，其特征在于：在固定面板的上部还安装了循环水冷却系统，在固定面板的下部还安装了二次反应气体混合腔体，喷管罩在二次反应气体混合腔体中，二次反应气体混合腔体的横截面呈“V”字型，二次反应气体混合腔体的底部开有单缝隙喷嘴，原料气体经由输送管路进入一次反应气体混合腔体，再进入喷管中，然后从喷管的喷气口喷出后进入二次反应气体混合腔体，最后由单缝隙喷嘴喷出。