用于监测杀菌波长的能量的紫外线传感器

摘要

一种紫外线传感器(10)，监测在消毒系统中使用的紫外线灯的效力。该传感器包括被配置为用于检测200-300nm波长的光的协同操作的紫外线光电探测器(12)和滤波器(14，32)。用于空气或水的净化系统结合将紫外光指向空气或水的紫外线灯(44)使用该传感器。

主权项

1. 一种紫外线传感器，用于监测用于消灭微生物的预定波长的能量，该传感器包括：对紫外光范围敏感的紫外线碳化硅光电探测器(12)，其中所述紫外线碳化硅光电探测器(12)包括碳化硅衬底(20)以及负和正外延层(22，24)；和布置来截取指向紫外线碳化硅光电探测器的光的滤波器(14，32)，该滤波器被配置为允许200和300nm之间的波长的光通过并阻挡波长超过300nm的光，该滤波器沉积在紫外线碳化硅光电探测器上，从而该滤波器和紫外线碳化硅光电探测器形成单片元件，该滤波器是由多层介质层构成的。