一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法

摘要

本发明属于大型精密仪器的技术指标测试、故障检查定位领域，特别是涉及一种检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法。其特征是以昆虫的复眼器官表面角质层为结构模型，在其表面覆盖一层铂金膜层，形成标准样品。昆虫以鳞翅目蝶类的粉蝶科虫，取昆虫复眼中心部位外表面角质层1mm×1mm的面积，通过用银导电胶将样品粘到扫描电子显微镜专用样品台中心，粘贴时需将样品放平、四周被按实，使样品与样品台紧密接触，待导电胶干燥后，用离子溅射仪为其表面镀50纳米厚铂金膜。本发明的目的是解决现有的标准样品倍率范围低、样品不规范、只能检测较窄范围等方面存在的问题。

主权项

1、一种复合型检测扫描电子显微镜失真的标准样品制备方法，其特征在于：以昆虫的复眼器官表面角质层为结构模型，在其表面覆盖一层铂金膜层，形成标准样品。