| 发明名称 |
Device working with beams of charged particles |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1385192(A3) |
申请公布日期 |
2009.07.29 |
| 申请号 |
EP20030016239 |
申请日期 |
2003.07.17 |
| 申请人 |
CARL ZEISS NTS GMBH |
发明人 |
KIENZLE, OLIVER, DR.;KNIPPELMEYER, RAINER, DR. |
| 分类号 |
H01J29/70;G03F7/20;G01N23/00;G01Q10/00;G01Q30/02;G02B21/06;G21K1/08;G21K7/00;H01J37/04;H01J37/12;H01J37/14;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J29/70 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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