晶舟辅助装置

摘要

一种晶舟的辅助装置，其构造至少包括一导轨框，该导轨框具有一第一导轨槽板、一第二导轨槽板及至少一连接臂，该导轨框通过各连接臂而分别连接第一导轨槽板及第二导轨槽板的侧边，且第一导轨槽板及第二导轨槽板在对应于一晶舟的各个晶舟沟槽的位置分别设有一导轨槽，该导轨槽朝向晶舟沟槽一端的宽度与该晶舟沟槽的宽度一致，且各个导轨槽的另一端的宽度向导轨槽中间呈现渐缩的态样，而可将导轨框的各个导轨槽分别串接其所对应的晶舟沟槽。通过本发明的晶舟辅助装置，使用者由晶舟取放晶圆框架时，可通过导轨槽的宽度来导引晶圆框架，使晶圆不至于因取出或置入的角度而造成碰触、摩擦或刮伤。

主权项

1. 一种晶舟辅助装置，其特征在于，至少包括有：一导轨框，其包括有一第一导轨槽板、一第二导轨槽板及至少一连接臂，各该连接臂分别连接该第一导轨槽板及该第二导轨槽板的侧边，且该第一导轨槽板及该第二导轨槽板在对应于复数个设置于一晶舟的晶舟沟槽的位置上分别设有一导轨槽，该导轨槽朝向晶舟沟槽一端的宽度与该晶舟沟槽的宽度一致，各个该导轨槽的另一端的宽度向该导轨槽中间呈现渐缩的态样，可将该导轨框串接于该晶舟，藉以令该导轨槽串接其所对应的该晶舟沟槽。