降低双束雷射处理系统中相干串音的方法

摘要

在一目标样品工作表面处形成具有受控稳定性的两道雷射处理射束的方法与系统包含沿着分离的第一射束路径与第二射束路径来传播且相互相干(coherent)的第一雷射射束与第二雷射射束(130、140)，它们被结合(170)以实施一光学特性调整。所述经结合的雷射射束被分离(190)成第三雷射射束与第四雷射射束(192、194)，它们沿着分离的射束路径传播并且包含个别的第三主射束分量与第四主射束分量(192l)，并且所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者产生一泄漏分量，所述泄漏分量与所述第三雷射射束与第四雷射射束中另一者的主射束分量(192m)以相互时间相干的方式来共同传播。经由声光调变(150、160)频率偏移或是经由在所述两道射束之中并入一光学路径长度差(404、504)便会降低所述泄漏分量及与所述泄漏分量共同传播的另一主射束分量之间的相互时间相干性的效应。

主权项

1.一种在一目标样品的工作表面处形成具有受控稳定性的两道雷射处理射束的方法，其包括：提供沿着分离的第一射束路径与第二射束路径传播且相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束；在一光学组件串中的一共同射束路径部份之中刻意结合所述相互相干的第一雷射射束与第二雷射射束，用以实施所述第一雷射射束与第二雷射射束所共同的光学特性调整；将所述先前经过结合的第一雷射射束与第二雷射射束分离成沿着个别的第三射束路径与第四射束路径来传播的第三雷射射束与第四雷射射束，所述第三雷射射束与第四雷射射束包含个别的第三主射束分量与第四主射束分量，并且所述第三雷射射束与第四雷射射束中其中一者产生一泄漏分量，所述泄漏分量与所述第三雷射射束与第四雷射射束中另一者的主射束分量以相互时间相干的方式来共同传播；以及降低所述泄漏分量及与所述泄漏分量共同传播的所述第三主射束分量与第四主射束分量中另一者之间的相互时间相干性的效应，以便传送与所述第三射束及第四射束对应的稳定的第一处理射束与第二处理射束至所述工作件。