发明名称 尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶及其制作方法
摘要 尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶及其制作方法涉及一种利用电化学法腐蚀和真空蒸镀技术,从而加工出尖端曲率半径在数十微米到数纳米范围的,对微小区域温度变化能够快速响应的微/纳米热电偶的制备方法。该热电偶为三部分构成,尖端曲率半径为微米级或纳米级的金属针尖(11)作为基底,其外包裹绝缘层(12)并裸露金属针尖(11)的尖端,在绝缘层(12)和裸露金属针尖(11)的尖端上设有一层金属薄膜(13)。
申请公布号 CN101493360A 申请公布日期 2009.07.29
申请号 CN200910028694.9 申请日期 2009.01.05
申请人 东南大学 发明人 顾宁;汪长岭
分类号 G01K7/02(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I;C23C14/16(2006.01)I;C25F3/02(2006.01)I 主分类号 G01K7/02(2006.01)I
代理机构 南京经纬专利商标代理有限公司 代理人 叶连生
主权项 1、一种尖端曲率半径为微米或纳米级的热电偶,其特征在于该热电偶为三部分构成,尖端曲率半径为微米级或纳米级的金属针尖(11)作为基底,其外包裹绝缘层(12)并裸露金属针尖(11)的尖端,在绝缘层(12)和裸露金属针尖(11)的尖端上设有一层金属薄膜(13),金属薄膜(13)和裸露金属针尖(11)的尖端形成热电偶的测温的核心部分的金属结。
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