耐蚀金属制流体用传感器及用该传感器的流体供给设备

摘要

本发明提供提高热式质量流量传感器的耐蚀性的同时，可使对压力变动的测定精度稳定、响应性提高、除颗粒、防止制品质量的偏差及压力测定等的耐蚀金属制流体用传感器和采用该传感器的流体供给设备。具体地说，本发明的耐蚀金属制流体用传感器，测量流体的质量流量及压力，其中设有：耐蚀性金属基片2；形成设于该耐蚀性金属基片2的接触流体表面的背面侧的温度传感器3a和加热器3b的用薄膜构成的质量流量传感器部1；以及形成设于耐蚀性金属基片2的接触流体表面的背面侧的应变传感器元件4a的由薄膜构成的压力传感器部4。

主权项

1. 一种耐蚀金属制流体用传感器，测量流体的质量流量及压力，其特征在于设有：耐蚀性金属基片；质量流量传感器部，由形成有设于该耐蚀性金属基片的接触流体表面的背面侧的温度传感器和加热用加热器的第一薄膜构成；以及压力传感器部，由形成有设于耐蚀性金属基片的接触流体表面的背面侧的应变传感器元件的第二薄膜构成，并与所述质量流量传感器部同步进行测量。