一种微粒外物清除装置

摘要

本发明公开了一种微粒外物清除装置，包括一水平轨道，两根支架及至少一个吹风除尘装置，所述两根支架与水平轨道垂直，两根支架分别与水平轨道的两端连接，所述支架可连接在设备上，并可沿垂直方向滑动；所述吹风除尘装置与水平轨道连接，并可在沿水平轨道滑动。该微粒外物清除装置固定在半导体产品生产设备上，吹风除尘装置可沿水平和垂直两个方向滑动，从而可以对半导体产品生产设备上的产品的不同位置进行进行吹起，将产品表面的微粒吹离，从而降低产品的不良率。

主权项

1.一种微粒外物清除装置，其特征在于：包括一水平轨道，两根支架及至少一个吹风除尘装置，所述两根支架与水平轨道垂直，两根支架分别与水平轨道的两端连接，所述支架可连接在设备上，并可沿垂直方向滑动；所述吹风除尘装置与水平轨道连接，并可在沿水平轨道滑动。